SEMI标准年鉴 1990 第2卷 A分册 设备自动化 硬件部分

封面 1
书名 2
版权 3
前言 4
中文版前言 69
前言 83
出版物订购单 85
SEMI通信 87
组织机构图解 90
委员会介绍 93
国际标准委员会 97
地区标准委员会 98
地区委员会一览表 103
SEMI E1— 148
标准 63
3in,100mm,125mm,150mm塑料和金属硅片盒 63
1．前言 148
2．选择的定义 148
SEMI E1.1— 148
标准 71
3in塑料和金属硅片盒，通用型 71
SEMI E1.2— 148
标准 73
100mm塑料和金属硅片盒，通用型 73
SEMI E1.3— 148
标准 75
125mm塑料和金属硅片盒，通用型 75
SEMI E1.4— 148
标准 77
125mm塑料和金属硅片盒，自动输送使用 77
SEMI E1.5— 148
标准 80
150mm塑料和金属硅片盒，通用型 80
SEMI E2— 148
标准 82
125mm和150mm石英与高温硅片盒 82
1．范围 148
2．选择的定义 148
3．尺寸定义 148
SEMI E2.1— 148
标准 88
125mm和150mm石英与高温硅片盒 88
1．范围 148
2．选择的定义 148
3．尺寸定义 148
SEMI E2.2— 148
标准 93
200mm石英与高温晶片盒 93
1．范围 147
2．选择的定义 147
3．尺寸定义 147
SEMI E6— 147
设施接口规范的格式 98
1．引言 146
2．模型格式 146
SEMI E7— 146
规范 124
电气接口 124
1．引言 148
2．供电类别 148
3．电气接插件 148
4．导线与电缆 148
5．其他参考文献 148
SEMI E8— 148
规范 129
硅片传送系统：接口的坐标系 129
1．引言 152
2．定义 152
3．实际要求 152
SEMI E10— 152
指南 132
设备的可靠性，可用性及维修性的定义和测量 132
1．范围 151
2．选择的定义 151
3．设备的状态 151
4．可靠性、可用性、维修性的测定 151
SEMI E11— 151
SEMI指南 140
125mm和150mm塑料和金属晶片盒的应用 140
1．范围 148
2．适用文件 148
3．选择的定义 148
4．晶片盒应用 148
SEMI E12— 148
用以表达质量流计与质量流控制器的容积流速的标准温度与压力的定义（推荐） 145
1．引言 152
SEMI E14— 152
关于影响产品质量的工艺或支撑（配套）设备中微粒污染的测量 146
1．引言 152
2．范围 152
3．目标 152
4．定义 152
5．表面微粒污染的测量 152
附录A 数据收集表 152
附录B 加工设备污染测量流程图 152
附录C 环境指南 152
附录D 152
SEMI E15— 152
规范 164
设备之间材料传送接口的规范 164
1．前言 152
2．适用文件 152
3．选择的定义 152
4．要求 152
SEMI E16— 152
指南 172
确定和叙述质量流控制器泄漏 172
目录 60
封底 176 1 (p0-1): 3in,100mm,125mm,150mm塑料和金属硅片盒
1 (p0-2): 标准
7 (p0-3): 中文版前言
9 (p0-4): 3in塑料和金属硅片盒，通用型
9 (p0-5): 标准
11 (p0-6): 100mm塑料和金属硅片盒，通用型
11 (p0-7): 标准
13 (p0-8): 标准
13 (p0-9): 125mm塑料和金属硅片盒，通用型
15 (p0-10): 125mm塑料和金属硅片盒，自动输送使用
15 (p0-11): 标准
18 (p0-12): 150mm塑料和金属硅片盒，通用型
18 (p0-13): 标准
20 (p0-14): 125mm和150mm石英与高温硅片盒
20 (p0-15): 标准
21 (p0-16): 前言
23 (p0-17): 出版物订购单
25 (p0-18): SEMI通信
26 (p0-19): 标准
26 (p0-20): 125mm和150mm石英与高温硅片盒
28 (p0-21): 组织机构图解
31 (p0-22): 200mm石英与高温晶片盒
31 (p0-23): 标准
31 (p0-24): 委员会介绍
35 (p0-25): 国际标准委员会
36…